Paramount HP 10013電源供應器推出之後,Advanced Energy 的 Paramount 系列產品將會有更多選擇,新產品可以提供更大的功率輸出,有助於加快製程速度以及提高產量

台灣 - Media OutReach - 二零二一年一月二十日 - Advanced Energy Industries, Inc.  (Nasdaq: AEIS) 一直致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案,這方面的技術更一直領先全球。該公司推出一款全新的 Paramount HP 10013 射頻電源供應器。新產品推出之後,該公司旗艦產品 Paramount RF (射頻) 電源供應器系列將會有更多型號可供選擇。




Advanced Energy 的電漿製程設備電源系統適用於半導體蝕刻、介電質蝕刻、沉積、濺鍍、離子植入等半導體和電漿薄膜製程設備,Paramount HP 10013 沿用這種在市場一直居領導地位的電漿製程電源技術,但效能則有進一步的提升,例如:Paramount HP 10013 可確保 Paramount 13.56MHz 平台提供高達10kW的輸出功率,優點是能以較低的平均功率提供高能脈衝,以確保脈衝功率的準確性和可重複性。較高的功率可提升電漿密度和離子能量,以便支援更快更深的電漿蝕刻製程步驟以及縮短沉積製程時間,以滿足先進的高深寬比蝕刻製程和新一代應用的要求。


Advanced Energy 半導體及運算產品資深副總裁 Peter Gillespie 表示:「目前市場上的許多產品,包括消費產品,娛樂設備、工業製品、電腦系統以及運輸工具,幾乎全部都要採用積體電路。按照這個發展趨勢看,高精度製程設備電源系統的應用將會越來越廣泛。我們的產業必須滿足這些不斷增加的需求,克服各式各樣的挑戰。Advanced Energy 的Paramount產品系列率先採用脈衝射頻技術,是業內首系列可量產的全數位射頻電源供應系統。Advanced Energy 今次推出更高功率的產品,讓我們的客戶可以利用創新的技術開發更為複雜的三維度系統架構和全新的物料。」


Paramount平台的數位架構可支援精確的電源管理,而且無需更換硬體便可更快將新的功能整合一起。全數位控制功能可以追蹤電漿變化作出動態及即時的偵測,而且可以提供大功率的輸出,並確保效能的可重複性。內建的數位介面可確保平台與其他射頻電源供應器同步作業,也可無縫連接 Advanced Energy 一系列領先同業的 Navigator 和 Navigator II 數位匹配網路。Paramount系列平台是目前半導體業最受歡迎的電漿製程設備電源解決方案。


如欲進一步查詢這款產品的技術規格,可登入 Advanced Energy 公司網頁查閱Paramount系列的產品專頁


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